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- URE-2000S/25型光刻機產品名稱：
中國光電URE-2000S/25型光刻機
?技術參數：
1、曝光面積：100 mm×100mm（可升級為150 mm×150mm）
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- URE-2000A型光刻機產品名稱：
中國光電URE-2000A型光刻機產品特點：
◆?曝光面積：150mm×150mm
◆?分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）
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- URE-2000B型光刻機產品名稱：
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