產品名稱：

中科院微電子所KW-4A勻膠機

一、KW-4A勻膠機產品介紹：

1、中科院微電子所KW型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。

2、該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

3、通常配無油真空泵一起使用。經過20多年的發展，目前產品占國內市場的70%以上。 

4、目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

二、KW-4A勻膠機規格參數：

 1、調速范圍和勻膠時間　　

      Ⅰ檔　調速范圍：500-2000轉／分　　  Ⅰ檔　勻膠時間：2-18秒　　

      Ⅱ檔　調速范圍：1300-8000轉／分　　 Ⅱ檔　勻膠時間：3-60秒　

2、適用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠（硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等各種材料）。

3、LED數字顯示，轉速穩定度：±1％，膠的均勻性：±3％。　

4、電機功率：40W　　

5、真空泵抽氣速率≥60升／分　

6、體積小，重量輕，操作簡便　

7、儀器尺寸：210×220×160mm 　　

8、標配 3 個基片托盤：直徑 8mm，1 英寸，2 英寸，（4英寸可選配。）

9、可選配件無油泵

無油真空泵基本參數：

1) 型號： AP-550v；

2) 抽速：1.5 升/秒；

3) 功率：320W；

4) 噪音：58db；

5) 電壓、頻率：~ 220V/50Hz；

6) 最低真空度：﹣700mmHg；

7) 重量：5.8kg；

8) 外形尺寸：240×130×200mm。

三、KW-4A 勻膠機產品主要特點

1) 開關電流調速，穩定性能更好，轉速調節以數字顯示為準。

2) 轉速在 500～8000 轉/分范圍內非常穩定。

3) 采用雙轉速。在啟動之后，先以低速運轉，使膠攤開，然后自動轉換到 高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調，時間分別控制在 1～18 秒 和 3 秒～1 分鐘。

4) 具有定時功能。

5) 測速采用光電的辦法，產生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。

6) "吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，適合 流水線的工藝，提高了效率。

7) 在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音低。

四、KW-4A型勻膠機使用說明

1) 將塑料管接到勻膠機后面板的抽氣嘴上。

2) 電源線插座插入無油泵底座“~220V”插孔里。

3) 電源線插頭插入電源線接板的~220V。

4) 此泵有兩個氣嘴，一個氣嘴已接好塑料管，另一端接到勻膠機后面板即

可，另一只氣嘴為出氣嘴，不要堵住。

5) 電源開關“O”為關閉，“－”為開啟。

6) 將開關置于“－”位置，真空泵即可運轉。

7) 和勻膠機連用時，當需要吸片時，先開泵電源，真空泵應處于工作狀態，

只需要再按勻膠機面板上的吸氣鍵，即可控制通電。

8) 不工作時將泵上的開關斷開。