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微流控PDMS芯片加工工藝

一、配膠

打開天平稱膠。A膠:B膠=10:1。A膠與B膠的比越大配出來的膠越軟。

二、勻膠

打開真空脫泡攪拌機,放入稱好的膠,抽真空將膠攪拌混合。

三、修飾

將處理好的硅片放入揮發缸中,滴1~2滴修飾劑(甲基氯硅烷)修飾約3min。

四、倒膠

錫紙鋪平于皿內,放入硅片模具,將硅片輕輕壓實后倒膠,務必使硅片上的膠無氣泡。

五、干燥

85℃恒溫干燥箱內干燥約30min。

六、剝膠

稍冷卻后撕下錫紙,將固化后的PDMS與硅片分離,小心揭下PDMS,注意不要損壞硅片。

七、切割

用切割刀沿著芯片外框小心切割,注意切割整齊。

八、打孔

用打孔器打孔,注意打孔的位置、孔徑大小。

九、清理

清洗芯片。

十、鏡檢

用顯微鏡觀察芯片通道是否合格。

十一、鍵合

等離子處理機處理需要鍵合的芯片表面,并將被處理的兩面貼合。

十二、質檢

顯微鏡下檢察芯片的鍵合情況。

十三、烘烤

放入65℃恒溫干燥箱內過夜烘烤。

十四、結束

對芯片進行最后檢察,結束制作。整理加工臺面。

 

注:所需儀器:電熱板、勻膠機烘膠臺;耗材:光刻膠、顯影液、硅片等。注:上文中提及的相關儀器:真空脫泡攪拌機、恒溫干燥箱、顯微鏡、等離子處理機;所需耗材:PDMS預聚物(RTV615或184)、硅片;加工工具:切割刀、打孔器等(汶顥芯片zuzumean.com)



標簽:   芯片 PDMS芯片 加工工藝
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