微流控芯片起源于MEMS(微機電系統)技術，早期常用的材料是硅和玻璃。近年來高分子聚合物材料己經成為微流控芯片加工的主要材料，它的種類多、價格便宜、絕緣性好、性能指標優，可施加高電場實現快速分離，加工成型方便，易于實現批量化生產。

微流控芯片的材料——硅

硅具有散熱好、強度大、價格適中、純度高和耐腐蝕等優點。隨著微電子的發展，硅材料的加工技術越來越成熟，硅材料首先被用于微流控芯片的制作，因具有良好的光潔度和成熟的加工工藝，可以用于微泵、微閥和模具等器件。但是硅材料也有本身的缺點，例如絕緣性和透光性較差、深度刻蝕困難、硅基片的粘合成功率低等，這些影響了硅的應用。

微流控芯片的材料——玻璃

如今，玻璃己被廣泛用于制作微流控芯片，使用光刻和蝕刻技術可以將微通道網絡刻在玻璃材料上，它的優點是有一定的強度、散熱性、透光性和絕緣性都比較好，很適合通常的樣品分析。

微流控芯片的材料——高分子聚合物材料

高分子聚合物材料由于成本低、易于加工成型和批量生產等優點，得到了越來越多的關注。用于加工微流控芯片的高分子聚合物材料主要有三大類：熱塑性聚合物、固化型聚合物和溶劑揮發型聚合物。

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