微流控芯片制作的環(huán)境要求
超凈間:超凈間(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。「超凈間」是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計的房間。亦即是不論外在的空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。 超凈間最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「超凈間」。
工業(yè)超凈間
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
生物超凈間
主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為; A、 一般生物超凈間,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)超凈間。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、生物學(xué)安全超凈間:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。例:細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)。
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標簽:   微流控芯片
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