蘇州汶顥具備哪些微流控芯片加工工藝
微流控芯片最初只是作為納米技術革命的一個補充,在經歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后,最終卻實現了商業化生產。隨著材料科學。微納米加工技術和微電子所取得的突破性進展,微流控芯片也得到了迅速發展。
蘇州汶顥芯片科技有限公司(簡稱”蘇州汶顥”)具備雄厚的微流控芯片加工能力,保持國內芯片加工的領先。配置了先進的軟刻蝕有機芯片加工系統、光刻-掩膜無機芯片加工系統、數控CNC微加工系統,可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC等所有材質微流控芯片。
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蘇州汶顥具備哪些微流控芯片加工能力:
1、光刻工藝
能夠在硅片上進行光刻操作,光刻7英寸向下兼容,加工極限2μm,有三層以上光刻加工能力;
2、注塑成型工藝
可利用硅片模具、玻璃模具、金屬模具或塑料模具進行PDMS芯片的注塑成型加工。
3、數控CNC工藝(PMMA、PC、ABS等其他聚合物芯片)
利用數控CNC加工中心、可以加工線寬在100μm以上,深度在10μm以上的聚合物芯片,芯片整體尺寸在40*40cm以內。
4、玻璃加工工藝
激光或者CNC加工玻璃材質芯片,管道加工誤差可以在10μm以內,切割誤差可以在20μm以內。濕法刻蝕寬深比>2:1,通道內壁光滑。
5、磁控濺射工藝
可以在硅片或者玻璃上濺射金屬,加工能力6英寸向下兼容,金屬厚度可控;可以進行多層的金屬濺射;可以對硅片或者玻璃上濺射金屬進行圖案化,極限線寬5μm。
6、其他加工工藝
金屬芯片——主要是鋁和鎳的芯片;相關進樣系統和墊圈的定制;硅刻蝕&深硅刻蝕—化學方法刻蝕和ICP刻蝕。
蘇州汶顥,在生物芯片和化學芯片領域一直保持技術和研發的領先地位,申請國家專利89項,其中授權20余項,已經獲批注冊商標2件,軟件著作權7件,江蘇省高新技術產品3項,建立企業標準5項。
標簽:   微流控
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