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• 微流控芯片微閥（比如光刻、刻蝕等）加工而成，對加工設備和原材料要求高，加工成本較高；微閥結構較為復雜，通常為非平面的多層立體結構，需采用多層硅鍵合工藝加工而成，工...2017-10-09 17:24:38