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'關鍵字: 浸沒式光刻機'
- 28nm節點浸沒式光刻機核心部件之一浸液系統入駐杭州青山湖科技城制造、芯片研制出產兩大集成電路工業項目龍頭。浸液體系背景：浸液體系是浸沒式光刻機四大核心部件之一，是光刻機打破干式曝光物理極限向更小技能節點開展的標...2017-08-08 16:38:10
- 一文看懂光刻機小分辨率將得到提升，這就是浸沒式光刻系統的原理。?ASML 率先推出浸沒式光刻機，奠定自身市場地位。林本堅提出浸沒式光刻設想后， ASML開始與臺積...2018-05-16 08:59:54
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