簡述顯影機的維修和保養
在液晶面板生產中,顯影機是一種重要設備,顯影室的潔凈度和顯影效果是影響產品工藝和性能的重要因素,定期保養顯影機設備的各機構部位,可保證顯影機的動作正確,并確保顯影機的質量符合要求,還能提升設備的使用壽命,節省人力物力。
1 顯影機的作用
傳輸作用:連接上游和下游設備,有效地傳輸基板。
過程作用:對于負光阻值,涂布后的面板未曝光部分光阻與顯影液發生作用,未曝光部分光阻溶解,洗凈后需要的部分。在正的光阻下,曝光部分光阻與顯影液發生作用,使曝光部分被溶解,洗凈,留下所需部分,達到液晶面板生產的工藝要求。
2 顯影機的主要結構
顯影室:包含水管,噴嘴,搖臂,Roller,顯影Nozzle。
水洗室:包含水管,噴嘴,Roller,水洗Nozzle,風刀。
移動和移動Conveyor:包含Roller,旋轉角度Conveyor。
3 顯影機故障內容。
機械故障:傳送結構的故障卡死,導致移動異常,或出現破裂。
操作不當:由于光阻性溶解物在腔內或管道內長期使用,導致噴淋裝置堵塞,噴灑效果不加,造成顯影Mura或者顯影不良,所以需要定期對顯影機進行保養維護作業。
4 維修保養內容。
裝置殼體及蓋板:1、用純水浸濕的無塵布擦拭設備外殼,及顯影室、水洗室蓋。2污物不能擦去純水可以用無塵酒精擦拭。
清洗:1.將Tank內顯影液體廢液洗凈并排空后用水槍沖洗Tank內各部位,再用純水或酒精擦拭無塵布,然后擦拭內壁。清洗完畢后再用水槍沖洗Tank,直到無塵抹布擦下無贓物。清洗后將純凈水加入洗滌劑中,待顯影機維護完畢后再進行顯影作業。
清洗清洗:1.將提花內純水排空,用無塵布對內壁和管壁進行清洗。2清洗后加入純水,待顯影機維護完畢后再加入顯影機。
清洗顯影室:1用高壓水槍沖洗顯影包內壁、羅勒、搖臂及污染部位。2、使用無塵布,可以沾上純水或酒精擦拭內壁、羅勒、搖臂等污染部位。3檢查噴嘴和顯影噴灑狀態,更換堵塞和噴灑不良的噴嘴,用塞尺Nozzle清洗。4用高壓水槍沖洗Chamber、Chamber的內壁和底部。5將顯影Roller轉換成移動方式,檢查各旋轉軸和軸承轉動情況,對轉動異常部位進行更換和修理。6打開顯影室噴淋和搖晃,用純水沖洗干凈,直到顯影室內部干凈為止,顯影Chamber內濾網清理完畢,避免濾網堵塞而引起積液。
清洗室內清潔:1用高壓水槍沖洗Chamber內壁、Roller及污染部位。2、使用無塵布,可以沾上純水或酒精,擦拭內壁、羅勒等污染部位。3檢查噴嘴和水洗噴頭噴灑情況,更換堵塞的噴嘴和噴水不良的噴嘴,用塞尺清洗Nozzle。4用高壓水槍沖洗Chamber及Chamber內壁和底部的水管。5用干無塵布清洗AK段風刀和圓管。6將水洗后的Roller轉換成移動方式,檢查各滾筒和軸承轉動情況,對轉動異常部位進行更換和修理。
移動、移出和Roller:1使用寢有丙酮的無塵布對移動入口的上下側實施。2用干的無塵布對移動到Roller進行清潔。3轉換成移動方式,檢查各滾筒和軸承轉動情況,對轉動異常部位進行更換和修理。
過濾器:檢查更換的濾芯,并用無塵清潔FilterHouse。
維護效果檢查1、目視檢查法及用干凈的無塵抹布擦干凈。2判定標準各機構運行正常,擦拭無塵布表面無污染。
自動噴淋操作:1將顯影提花灑入純水后,將其送至顯影室和水洗室。2.將顯影Tank廢液顯影注入顯影液后,對顯影液進行自動噴淋操作。3將顯影及水洗后的廢液,顯影機改變準備動作,待準備動作結束后更改為自動模式。
5注意事項
在維護保養前需先穿著佩戴好防護用品,注意作業安全。
同一塊無塵布勿擦拭不同種類的部位,如內壁與Roller。
注意水槍等硬物不要接觸到風刀。
擦拭過程勿碰壞Sensor。
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