勻膠機有很多種稱謂，英文叫SpinProcessor或者SpinCoater，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，綜上所述，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

如何選購合適的勻膠機針對目前勻膠機市場品牌眾多的情況，綜合多年從事勻膠機技術研究的實際經驗。為幫助廣大用戶提高辨別能力，提供了直觀明確的選擇標準。從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節：

1、真空吸附系統的構造

真空泵一定要無油的，壓力標定準確。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。

2、旋轉速度

轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。

3、材質的選擇

對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的耐腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。在選購勻膠機的同時，一定要注意品牌和質量，價格其次，市場上的勻膠機層次不齊，客戶在購買時要慎重考慮。

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