汶顥微流控芯片加工能力
汶顥科技具有雄厚的微流控芯片加工能力,保持國內芯片加工領域先進地位,配置了先進的軟刻蝕有機芯片加工系統、光刻-掩膜無機芯片加工系統、數控CNC微加工系統,可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC、金屬等材質的微流控芯片。
芯片設計:以客戶目標為導向,設計微通道與微結構,并選擇匹配的材質和工藝,實現芯片功能。
芯片材質:可以加工所有材質的微流控芯片,包括PMMA、PDMS、玻璃、石英、硅片、金屬等。
技術手段:光刻、濕法刻蝕、注塑、數控加工、熱壓、激光刻蝕等。
加工能力:
PDMS:加工線寬在2微米以上,深寬比最大可到5:1;
玻璃/石英/硅片:濕法刻蝕,線寬在5微米以上;
PMMA等聚合物:加工線寬在200微米以上,深度100微米以上;
金屬:加工線寬在200微米以上,深度100微米以上。
標簽:   微流控芯片加工
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